Karena awalnya ruangan cleanroom adalah
sebagian besar untuk penggunaan pemerintah, prosedur pengujian yang ditetapkan
oleh standar pemerintah. Federal AS Standar 209 diterima secara luas, karena
didefinisikan kebersihan udara tingkat untuk ruang bersih di seluruh dunia,
tapi itu secara resmi ditarik pada tahun 2001. Standar ISO sekarang memerintah.
Pengujian standar metode dan praktek telah diterbitkan oleh Institute of
Environmental Ilmu dan Teknologi (IEST), American Society untuk Pengujian dan
Material (ASTM), dan lain-lain.
Tiga mode tes dasar yang
digunakan untuk mengevaluasi fasilitas: (1) saat dibangun, (2) saat
istirahat, dan (3) saat operasional. Ruangan Cleanroom tidak dapat sepenuhnya dievaluasi
sampai telah dilakukan dengan penuh hunian, dan proses yang akan dilakukan
dalam hal ini operasional. Dengan demikian, teknik untuk melakukan pengujian
kinerja awal dan pemantauan operasional harus serupa.
Sumber kontaminasi keduanya
eksternal dan internal untuk kedua searah dan aliran nonunidirectional cleanroom. Lingkaran udara yang utama adalah sumber utama kontaminasi eksternal.
Partikel diskrit counter menggunakan prinsip laser atau sinar-hamburan dapat
mendeteksi partikel 0,01 sampai 5 pm. Untuk partikel 5 mikron dan lebih besar, hitungan mikroskopis dapat digunakan, dengan partikel dikumpulkan pada filter
membran melalui mana sampel udara telah ditarik.
HEPA filter dalam aliran searah
dan ISO 14644-1 Kelas 5 pada langit-langit harus diuji untuk kebocoran lubang jarum
di media filter, sealant antara media dan frame, frame filter paking, dan
filter bank mendukung frame. Daerah antara dinding atau langit-langit dan frame juga harus diuji. Sebuah kebocoran lubang jarum pada filter bank dapat sangat
kritis, karena tingkat kebocoran bervariasi berbanding terbalik dengan persegi
penurunan tekanan pada lubang. (Istilah industri lubang jarum digunakan untuk
menggambarkan situs kebocoran adalah keliru. Ukurannya hampir pernah yang dari
lubang terbentuk oleh pin, tetapi sebenarnya banyak kali lebih kecil.)
Prosedur pengujian IEST
menjelaskan 12 tes untuk cleanrooms. Yang tes ini berlaku untuk setiap proyek
Cleanroom spesifik harus ditentukan.
0 comments :
Post a Comment