KONTROL ALIRAN UDARA CLEANROOM

Kontrol arah aliran udara antara ruangan cleanroom dengan berbagai tingkat kebersihan ruangan akan menjadi kompleks tetapi sangat penting untuk mencegah kontaminasi silang udara.

Kontaminan partikulat terdekat bisa menyusup ke ruangan Cleanroom melalui pintu, lubang lubang kecil pada ruangan, passthroughs, dan penetrasi lain pipa, saluran, saluran, dll Sebuah metode yang efektif kontaminasi kontrol bertekanan: udara bergerak dari tekanan tinggi ke tekanan rendah. Biasanya,

Cleanroom terbersih harus dirancang dengan tekanan tinggi, dengan tekanan menurun sesuai dengan penurunan kebersihan. Jalur aliran yang diinginkan harus dari daerah terbersih, kurang bersih, kurang terkontaminasi, dan kemudian ke tempat yang kotor.

Tekanan Ruangan

Mengontrol kontaminan dalam ruangan cleanroom membutuhkan mengendalikan arah aliran udara antara ruang yang berdekatan dengan berbagai tingkat kebersihan. Ini setara dengan mengendalikan tekanan relatif antara ruang. Tekanan normal baik mengarahkan diinginkan pola aliran atau isolat udara kontaminasi silang. Perbedaan tekanan udara diciptakan mekanis antara kamar untuk memperkenalkan disengaja udara jalur gerakan melalui ruang kebocoran bukaan.

Lubang ini bisa ditunjuk (misalnya, pintu) atau undesignated (Mis., celah udara di sekitar kusen, retak lainnya). Tekanan udara menolak infiltrasi sumber eksternal tanpa filter dari kontaminan. Hal ini dapat dicapai dengan mengatur laju aliran udara supply , udara return, dan exhaust airstreams untuk setiap kamar berdasarkan aturan berikut:

Tekanan: tingkat aliran udara masuk (supply) lebih tinggi daripada udara ( Exhaust dan / atau return) tingkat aliran udara di ruang; kamar akan menjadi aliran positif.
Pengurangan Tekanan: tingkat aliran udara masuk (supply) lebih rendah dari udara (exhaust dan / atau udara return) tingkat aliran udara di ruang; kamar akan menjadi aliran negatif.

Tekanan diferensial antara dua ruangan biasanya dirancang pada 0,05 udara masuk atau kurang. Sebuah ruangan diferensial aliran udara sering disebut offset flow, yang merupakan jumlah dari semua arus kebocoran (Masuk atau keluar) di ruang. Gambar dibawah ini menunjukkan hubungan antara laju aliran kebocoran pada perbedaan tekanan tertentu di pembukaan.

Setiap kurva pada grafik merupakan area kebocoran yang berbeda. Setelah daerah kebocoran di sepanjang kusen pintu yang diperkirakan, maka kebocoran melalui celah-celah pintu tertutup dapat dihitung berdasarkan pada perbedaan tekanan di pintu.

Airtightness kamar adalah elemen kunci dalam hubungan antara aliran nilai ruangan offset dan perbedaan tekanan yang dihasilkan, dan setiap airtightness kamar unik dan tidak diketahui kecuali diuji.

Perbaikan nilai offset pada ruangan mendefinisikan kontrol bertekanan strategi. Teknik kontrol bertekanan umunnya adalah sebagai berikut:

Direct pressure-differential control - Tekanan diferensial kontrol langsung (DP) menggunakan perbedaan tekanan sensor untuk mengukur perbedaan tekanan antara terkontrol ruang dan ruang yang berdekatan (misalnya, koridor). DP adalah cocok untuk ruang dengan konstruksi kuat dengan lalu lintas yang terbatas. Pada dasarnya mengabaikan nilai offset spesifik yang diperlukan, melainkan langsung mengontrol perangkat kontrol aliran udara untuk mencapai diperlukan perbedaan tekanan antara ruangan yang terkontrol dan ruang yang berdekatan. Sebuah saklar pintu dianjurkan untuk memicu mengurangi tekanan diferensial set point jika pintu terbuka.
Differential flow tracking control - Kontrol pelacakan diferensial aliran udara (DF) mengasumsikan nilai offset berdasarkan pada dugaan intuitif, nilai ini kemudian digunakan sebagai volumetrik yang atau perbedaan aliran massa antara memasuki dan meninggalkan aliran udara melalui perangkat kontrol aliran udara mereka. Metode ini cocok untuk kamar bergaya terbuka atau kamar dengan lalu lintas sering. DF biasanya mempertahankan nilai offset yang sama selama operasi untuk menjaga konstan bertekanan. Sebuah nilai konstan-persentase offset kadang-kadang digunakan, tapi ini menciptakan bertekanan lemah pada menurunkan aliran.
Hybrid kontrol (DF + DP) (atau kontrol mengalir) menggabungkan akurasi tekanan DP dan stabilitas DF. Nilai offset adalah reset didasarkan pada tekanan diferensial yang terbaca. Nilai Offset ditentukan, dan parameter controller adalah tetap secara manual di lapangan.

Tekanan pada ruangan - ruangan cleanroom untuk ruang produksi yang bersih lebih kompleks. Dalam prakteknya, interaksi kebocoran udara antara ruang kadang-kadang diabaikan. Namun, karena udara bocor keluar satu kebocoran ruang ke yang lain, menyesuaikan satu ruangan yang diimbangi nilai sering mempengaruhi tekanan udara sebelumnya keseimbangan antara kamar di sebelahnya.

Melihat fakta ini akan kesulitan dalam komisioning dan operasi. Buruknya tekanan rancangan bisa menjadi tak terduga, tidak stabil, atau bahkan gagal. Untuk informasi lebih lanjut dan prosedur, berkonsultasi dengan sumber-sumber dalam bibliografi. Banyak kontraktor merasai mampu membuat HVAC system akan sangat sulit mengerjakan banlancing untuk mendapatkan tekanan yang diinginkan. Untuk mengurangi kegagalan sebaik didalam desain cleanroom harus disertakan flow diagram untuk tata udara yang akan dikerjakan disertakan presentasi dan tata cara pelaksanaan untuk mengurangi kegagalan dalam sistem.

Sebuah tekanan ruang dan aliran diagram (P & F) untuk dikendalikan daerah (suite, zona, atau lantai) sering diberikan dalam dokumen desain, dan dapat digunakan sebagai dasar validasi terus menerus dan kualifikasi kontrol tekanan Cleanroom. P & F diagram harus menunjukkan:

Pengaturan desain aliran udara dari seluruh udara supply, udara return, dan udara exhaust untuk setiap ruangan di dalam area terkontrol
Nilai tekanan yang diinginkan ruangan dengan toleransi yang dapat diterima di setiap ruang tekanan yang dikendalikan
Hasil arah aliran kebocoran (karena ruang tekanan diferensial) dan taksiran nilai aliran kebocoran melalui pintu di kondisi tertutup

Tiga metode kontrol tradisional (DP, DF, dan DF + DP) baik mengabaikan, berasumsi, atau secara manual memperbaiki di lapangan nilai offset, masing-masing. Strategi yang lebih baik adalah untuk mengontrol tekanan semua kamar ' bersama-sama sebagai suatu sistem dioptimalkan, bukan independen. Adaptive DF + DP langsung menyumbang arus kebocoran antara ruangan, dan secara aktif menyesuaikan aliran masing-masing ruangan offset. Menggunakan pengukuran aliran dan tekanan diferensial untuk memperkirakan karakteristik kebocoran antara ruang dan menyesuaikan aliran offset otomatis. Pendekatan ini mungkin adaptif lebih cocok untuk ruangan bertekanan. Untuk prosedur desain dan strategi pengendalian, lihat literatur terkait dalam bibliografi.